3年为一个保养周期（期间使有空气/氮气）；无油烟和室内污染；零麻烦取代旋转/涡旋泵；冷凝易发气体像水蒸汽或溶剂；依靠变频器，频率变化不结果；噪音低、振动小。

用途：

真空干燥、电极干燥、真空脱气、真空成型、真空包装、真空充填、吸附运输、气相沉积、气体置换、电子显微镜、加速器、质量分析仪、离心分离机、冷冻干燥、蒸发器、涡轮分子泵的背面、水蒸汽排放、溶剂废气排放、氦气的排放、等离子清洗等。

性能曲线示意图：

规格：

日本樫山工业（KASHIYAMA）的产品在半导体制造领域和先进的高科技行业中已经荣获了极高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行业的信赖,这是日本樫山工业（KASHIYAMA）多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。

日本樫山工业（KASHIYAMA）的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在极高难度的制程发挥上获得了客户的高度信赖与评价。除了干式真空泵以外,鲁式及排气组合式真空泵设备在广泛的领域当中发挥它的威力。

图产品为日本樫山工业（KASHIYAMA）的手持风冷干式真空泵NeoDry系列。

日本樫山工业（KASHIYAMA）真空泵, 日本樫山工业（KASHIYAMA）干式真空泵, 日本樫山工业（KASHIYAMA）水封式真空泵, 日本樫山工业（KASHIYAMA）海水泵, 日本樫山工业（KASHIYAMA）鲁式真空泵, 日本樫山工业（KASHIYAMA）水封式真空泵

日本樫山工业（KASHIYAMA）全系列泵产品：

SDE-TX系列： SDE120TX,SDE303TX,SDE603TX,SDE1203TX,SDE20M12TX,SDE30M12TX

SDE-X系列：SDE90X,SDE303X,SDE603X,SDE1203X,SDE20M09X,SDE30M09X

SDE系列： SDE1220,SDE20M20,SDE30M20,SDE4060,SDE4030M20,SDE8060, SDE804060

SDL系列：SDL12E50,SDL20E50,SDL36M60,SDL40E60,SDL40E201,SDL40EW201,SDL80201

MU-X系列：MU100X,MU180X,MU300X,MU600X, MU1200X, MU20M18X,MU-P/H

MU-P/H系列：MU100P/H,MU180P/H,MU300P/H,MU600P/H,MU1200P/H,MU20M18P/H

NeoDry系列:NeoDry7E,NeoDry15E,NeoDry30E, NeoDry36E,NeoDry60E,NeoDry300E

LEH系列：LEH30MA,LEH50MA, LEH100MA, LEH150MA, LEH200MA, LEH300MA

LEM系列：LEM3,LEM6,LEM20MA, LEM40MA