罗茨干式真空泵在使用过程中的耐用性和低功耗的不错。

适用于由轻到中度负荷大范围的过程。

可用热氮气吹扫，以加强产品使用过程的耐用性。

规格：

日本樫山

产品性能曲线图：

工业（KASHIYAMA）的产品在半导体制造领域和先进的高科技行业中已经荣获了极高的评价与信赖。尤其是来自于半导体制造行业的信赖,这是日本樫山工业（KASHIYAMA）多年长期以来不断开发进取真空技术的结果。

日本樫山工业（KASHIYAMA）的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并在极高难度的制程发挥上获得了客户的高度信赖与评价。除了干式真空泵以外,鲁式及排气组合式真空泵设备在广泛的领域当中发挥它的威力。

图产品为日本樫山工业（KASHIYAMA）的低压式真空泵MU-P/H 系列。

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日本樫山工业（KASHIYAMA）全系列泵产品：

SDE-TX系列： SDE120TX,SDE303TX,SDE603TX,SDE1203TX,SDE20M12TX,SDE30M12TX

SDE-X系列：SDE90X,SDE303X,SDE603X,SDE1203X,SDE20M09X,SDE30M09X

SDE系列： SDE1220,SDE20M20,SDE30M20,SDE4060,SDE4030M20,SDE8060, SDE804060

SDL系列：SDL12E50,SDL20E50,SDL36M60,SDL40E60,SDL40E201,SDL40EW201,SDL80201

MU-X系列：MU100X,MU180X,MU300X,MU600X, MU1200X, MU20M18X,MU-P/H

MU-P/H系列：MU100P/H,MU180P/H,MU300P/H,MU600P/H,MU1200P/H,MU20M18P/H

NeoDry系列:NeoDry7E,NeoDry15E,NeoDry30E, NeoDry36E,NeoDry60E,NeoDry300E

LEH系列：LEH30MA,LEH50MA, LEH100MA, LEH150MA, LEH200MA, LEH300MA

LEM系列：LEM3,LEM6,LEM20MA, LEM40MA